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Enhanced temperature coefficient of resistance of amorphous silicon through metal incorporation and decapping process

Title: Enhanced temperature coefficient of resistance of amorphous silicon through metal incorporation and decapping process
Authors: Jo, Seong-Jo; Lee, Do-Yeon; Ko, Woon-San; Park, So-Yeong; Hong, Hye-Ri; Lee, Ga-Won
Source: In Thin Solid Films 1 July 2026 845
Database: ScienceDirect