| Title: |
Study of Si Nanowires Growth by CVD-VLS and Physical Properties |
| Authors: |
Baron, T.; Dhalluin, F.; Salem, B.; Salhi, B.; Abed, H.; Potie, A.; Panabière, M.; Decossas, S.; Kogelschatz, M.; Montès, L.; Oehler, F.; Gentile, P.; Pauc, N.; den Hertog, M.; Rouvière, J.L.; Noe, P.; Ferret, P. |
| Contributors: |
Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM); Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS); Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (IMEP-LAHC); Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP)-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Université Savoie Mont Blanc (USMB Université de Savoie Université de Chambéry )-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS); Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures (SiNaps); PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS (PHELIQS); Université Grenoble Alpes 2016-2019 (UGA 2016-2019 )-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG); Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)); Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)); Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes 2016-2019 (UGA 2016-2019 )-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG); Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA); Laboratoire d'Etude des Matériaux par Microscopie Avancée (LEMMA); Modélisation et Exploration des Matériaux (MEM); Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI); Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)) |
| Source: |
216th ECS Meeting in Vienna; https://hal.science/hal-00461113; 216th ECS Meeting in Vienna, 2009, Vienne, Austria |
| Publisher Information: |
CCSD |
| Publication Year: |
2009 |
| Collection: |
Université Savoie Mont Blanc: HAL |
| Subject Terms: |
[PHYS.COND]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]; [PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci] |
| Subject Geographic: |
Vienne; Austria |
| Description: |
International audience |
| Document Type: |
conference object |
| Language: |
English |
| Availability: |
https://hal.science/hal-00461113 |
| Accession Number: |
edsbas.4FAB1BD6 |
| Database: |
BASE |