| Title: |
Tests sur la Medusa de AllResist |
| Authors: |
Deblock, Yves; Boyaval, Christophe; Elegbe, J.; Ouendi, Saliha; Tilmant, Pascal; Vaurette, Francois |
| Contributors: |
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN); Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA); Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL); Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN (CMNF - IEMN); Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL)-Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA); Renatech Network; CMNF |
| Source: |
Rencontres 2023 Renatech Litho. Gravure ; https://hal.science/hal-03994057 ; Rencontres 2023 Renatech Litho. Gravure, Jan 2023, Villeneuve d'Ascq, France |
| Publisher Information: |
CCSD |
| Publication Year: |
2023 |
| Collection: |
Université Polytechnique Hauts-de-France: HAL |
| Subject Terms: |
[PHYS]Physics [physics]; [SPI]Engineering Sciences [physics] |
| Subject Geographic: |
Villeneuve d'Ascq; France |
| Description: |
National audience |
| Document Type: |
conference object |
| Language: |
French |
| Availability: |
https://hal.science/hal-03994057 |
| Rights: |
https://about.hal.science/hal-authorisation-v1/ |
| Accession Number: |
edsbas.5D9E74F2 |
| Database: |
BASE |