| Title: |
MEMS resonator having at least one resonator mode shape |
| Authors: |
Sworowski, M.; Gamand, P.; Philippe, P. |
| Contributors: |
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN); Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF) |
| Source: |
https://hal.science/hal-00372342 ; Patent n° : WO2007102130 (A2). 2007. |
| Publisher Information: |
CCSD |
| Publication Year: |
2007 |
| Collection: |
Université Polytechnique Hauts-de-France: HAL |
| Description: |
n° de priorité : EP20060110892 20060309 ; également publié en tant que : EP1997225 (A2) 2008-12-03 ; WO2007102130 (A3) 2007-11-15 ; CN101401303 (A) 2009-04-01 ; JP2009529820 (A) 2009-08-20 ; AT441974 (T) 2009-09-15 ; EP1997225 (B1) 2009-09-02 ; US2010156569 (A1) 2010-06-24 ; US7839239 (B2) 2010-11-23 ; CN101401303 (B) 2011-07-13 |
| Document Type: |
patent |
| Language: |
English |
| Relation: |
Patent N°: WO2007102130 (A2) |
| Availability: |
https://hal.science/hal-00372342 |
| Accession Number: |
edsbas.8A6213E1 |
| Database: |
BASE |