| Title: |
VLS-CVD growth and electrical characterization of individual silicon nanowires |
| Authors: |
Salem, B.; Dhalluin, F.; Baron, T.; Gentile, P.; Pauc, N.; Bedu, F.; Dallaporta, H.; Ferret, P. |
| Contributors: |
Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM); Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS); Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures (SiNaps); PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS (PHELIQS); Université Grenoble Alpes 2016-2019 (UGA 2016-2019 )-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG); Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)); Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)); Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes 2016-2019 (UGA 2016-2019 )-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG); Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA); Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI); Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)) |
| Source: |
397 WE-Heraeus-Seminar; https://hal.science/hal-00396819; 397 WE-Heraeus-Seminar, 2007, bonne, Germany |
| Publisher Information: |
CCSD |
| Publication Year: |
2007 |
| Collection: |
Université Grenoble Alpes: HAL |
| Subject Terms: |
[PHYS.COND]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]; [PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]; [SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials; [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics |
| Subject Geographic: |
bonne; Germany |
| Document Type: |
conference object |
| Language: |
English |
| Availability: |
https://hal.science/hal-00396819 |
| Accession Number: |
edsbas.DDA8A29C |
| Database: |
BASE |