| Title: |
Integrated single-crystal MEMS device |
| Authors: |
Sworowski, M.; Chevrie, D.; Philippe, P. |
| Contributors: |
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN); Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF) |
| Source: |
https://hal.science/hal-00372073 ; Patent n° : WO2008001253 (A2). 2008. |
| Publisher Information: |
CCSD |
| Publication Year: |
2008 |
| Collection: |
Université Polytechnique Hauts-de-France: HAL |
| Description: |
n° de priorité : EP20060116326 20060629 ; également publié en tant que : WO2008001253 (A3) 2008-04-10 ; EP2038207 (A2) 2009-03-25 ; CN101479185 (A) 2009-07-08 ; US2009278628 (A1) 2009-11-12 ; US7982558 (B2) 2011-07-19 ; CN101479185 (B) 2012-03-28 |
| Document Type: |
patent |
| Language: |
English |
| ISBN: |
978-2-00-800125-8; 2-00-800125-3; 978-2-00-800125-8; 2-00-800125-3 |
| Relation: |
Patent N°: WO2008001253 (A2) |
| Availability: |
https://hal.science/hal-00372073 |
| Accession Number: |
edsbas.DEB5ACE8 |
| Database: |
BASE |