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High-performance Ga2O3 Schottky Barrier Diode with a Self-aligned Shallow Groove and Dual Field-plate

Title: High-performance Ga2O3 Schottky Barrier Diode with a Self-aligned Shallow Groove and Dual Field-plate
Authors: Han, Shida; Wang, Yuangang; Lv, Yuanjie; Liu, Hongyu; Han, Tingting; Dun, Shaobo; Feng, Zhihong
Source: 2023 8th International Conference on Integrated Circuits and Microsystems (ICICM) Integrated Circuits and Microsystems (ICICM), 2023 8th International Conference on. :86-91 Oct, 2023
Relation: 2023 8th International Conference on Integrated Circuits and Microsystems (ICICM)
Database: IEEE Xplore Digital Library