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Numerical Study on the Influence of Polyimide Thickness and Curing Temperature on Wafer Bow in Wafer Level Packaging

Title: Numerical Study on the Influence of Polyimide Thickness and Curing Temperature on Wafer Bow in Wafer Level Packaging
Authors: Singh, Prashant Kumar; Rohlfs, Patrick; Sandmann, Gunther; Machani, Kashi Vishwanath; Breuer, Dirk; Meier, Karsten; Kuechenmeister, Frank; Wieland, Marcel; Bock, Karlheinz
Source: 2023 24th European Microelectronics and Packaging Conference & Exhibition (EMPC) Microelectronics and Packaging Conference & Exhibition (EMPC), 2023 24th European. :1-6 Sep, 2023
Relation: 2023 24th European Microelectronics and Packaging Conference & Exhibition (EMPC)
Database: IEEE Xplore Digital Library