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Detection of bonding voids in multi-tier stacks with scanning acoustic microscope

Title: Detection of bonding voids in multi-tier stacks with scanning acoustic microscope
Authors: Chen, Cong; Slabbekoorn, John; Bogdanowicz, Janusz; Moussa, Alain; Zhang, Boyao; Schleicher, Filip; Hoffrogge, Peter; Wiesler, Ingo; Khaldi, Wassim; Phommahaxay, Alain; Beral, Christophe; Beyer, Gerald; Beyne, Eric; Charley, Anne-Laure; Leray, Philippe
Source: 2023 IEEE 25th Electronics Packaging Technology Conference (EPTC) Electronics Packaging Technology Conference (EPTC), 2023 IEEE 25th. :320-325 Dec, 2023
Relation: 2023 IEEE 25th Electronics Packaging Technology Conference (EPTC)
Database: IEEE Xplore Digital Library