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Two Metal Level Semi-Damascene Interconnects for Superconducting Digital Logic

Title: Two Metal Level Semi-Damascene Interconnects for Superconducting Digital Logic
Authors: Iraci, Sara; Pokhrel, Ankit; Lozano, Daniel Perez; Soulie, Jean-Philippe; Sarkar, Sujan Kumar; Saroj, Rajendra Kumar; Canvel, Yann; Renaud, Vincent; Walke, Amey Mahadev; Kenens, Bart; Hodges, Blake; Ibrahim, Seifallah; Josephsen, Trent; Huet, Benjamin; Murdoch, Gayle; Kim, Min-Soo; O'Neal, Sabine; Herr, Quentin; Herr, Anna; Tokei, Zsolt
Source: 2024 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC) Interconnect Technology Conference (IITC), 2024 IEEE International. :1-3 Jun, 2024
Relation: 2024 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC)
Database: IEEE Xplore Digital Library