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Unraveling BTI in IGZO Devices: Impact of Device Architecture, Channel Film Deposition Method and Stoichiometry/Phase, and Device Operating Conditions

Title: Unraveling BTI in IGZO Devices: Impact of Device Architecture, Channel Film Deposition Method and Stoichiometry/Phase, and Device Operating Conditions
Authors: Chasin, A.; Franco, J.; Van Beek, S.; Dekkers, H.; Kruv, A.; Rinaudo, P.; Zhao, Y.; Matsubayashi, D.; Pavel, A.; Wan, Y.; Trivedi, K.; Rassoul, N.; Li, J.; Jiang, Y.; Van Setten, M.; Subhechha, S.; Belmonte, A.; Kaczer, B.; Kar, G. S.
Source: 2024 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM) Electron Devices Meeting (IEDM), 2024 IEEE International. :1-4 Dec, 2024
Relation: 2024 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM)
Database: IEEE Xplore Digital Library