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Die-to-Die Bonding Development Employing Atomic Layer Deposition to Enable Heterogeneous Integration of Optoelectronic Integrated Circuits

Title: Die-to-Die Bonding Development Employing Atomic Layer Deposition to Enable Heterogeneous Integration of Optoelectronic Integrated Circuits
Authors: Yeo, Yi Xuan; Nair Gourikutty, Sajay Bhuvanendran; Cheemalamarri, Hemanth Kumar; Chong, Ser Choong; Wai, Eva Leong Ching; Fong, Andrew Whye Keong
Source: 2025 IEEE 75th Electronic Components and Technology Conference (ECTC) ECTC Electronic Components and Technology Conference (ECTC), 2025 IEEE 75th. :1805-1810 May, 2025
Relation: 2025 IEEE 75th Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
Database: IEEE Xplore Digital Library