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Integration of Lateral Si/SiGe HBTs on Advanced FD-SOI Technology: Process Development and Challenges

Title: Integration of Lateral Si/SiGe HBTs on Advanced FD-SOI Technology: Process Development and Challenges
Authors: Billy, Philippine; Panda, Soumya Ranjan; Guitard, Nicolas; Weber, Olivier; Gauthier, Alexis; Chevalier, Pascal; Zimmer, Thomas; Fregonese, Sebastien
Source: 2025 IEEE 24th Topical Meeting on Silicon Monolithic Integrated Circuits in RF Systems (SiRF) Silicon Monolithic Integrated Circuits in RF Systems (SiRF), 2025 IEEE 24th Topical Meeting on. :79-82 Jan, 2025
Relation: 2025 IEEE 24th Topical Meeting on Silicon Monolithic Integrated Circuits in RF Systems (SiRF)
Database: IEEE Xplore Digital Library