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Highly-Efficient Visible-Wavelength Compact Silicon-Nitride Thermo-Optic Phase Shifter Using Undercut TiN Heater

Title: Highly-Efficient Visible-Wavelength Compact Silicon-Nitride Thermo-Optic Phase Shifter Using Undercut TiN Heater
Authors: Gebregforgis, Yonas; Sundaram, Vijay SS; Nelson, George; Crawford-Eng, Henry; Coleto, Andres Garcia; Walsh, Kyle J.; Tyndall, Nathan F.; Pruessner, Marcel W; Antohe, Alin; Striemer, Christopher; Notaros, Jelena; Stievater, Todd H.; Preble, Stefan
Source: 2025 Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO) Lasers and Electro-Optics (CLEO), 2025 Conference on. :1-2 May, 2025
Relation: 2025 Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO)
Database: IEEE Xplore Digital Library