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Inline Characterization of Polysilicon Layers in TOPCon Solar Cell Precursors With Reflectance Spectroscopy

Title: Inline Characterization of Polysilicon Layers in TOPCon Solar Cell Precursors With Reflectance Spectroscopy
Authors: Kumar, S.; Narayan, H.; Diestel, C.; Schmitz, J.; Haunschild, J.; Rein, S.; Rupitsch, S.J.
Source: IEEE Journal of Photovoltaics IEEE J. Photovoltaics Photovoltaics, IEEE Journal of. 16(1):113-119 Jan, 2026
Database: IEEE Xplore Digital Library