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Evaluating the Impact of Emerging Contaminants on Membrane Performance in Ultrapure-Water Production for Semiconductor Manufacturing: A PRISMA-Directed Meta-Analysis

Title: Evaluating the Impact of Emerging Contaminants on Membrane Performance in Ultrapure-Water Production for Semiconductor Manufacturing: A PRISMA-Directed Meta-Analysis
Authors: Tanveer, H.U.; Tanveer, H.; Fatima, S.; Faisal Aslam, R.; Hashier Muneeb Farrukh, M.
Source: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing IEEE Trans. Semicond. Manufact. Semiconductor Manufacturing, IEEE Transactions on. 39(2):358-368 May, 2026
Database: IEEE Xplore Digital Library