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An Acoustic Touch-Motion Button with Haptic Function via an in-Situ Fabricated Elastomeric Lens Atop PMUTs

Title: An Acoustic Touch-Motion Button with Haptic Function via an in-Situ Fabricated Elastomeric Lens Atop PMUTs
Authors: Fitzgerald, Declan M.; Xie, Yudong; Isomatsu, Sean; Lukhanin, Nikita; Wang, Zihan; Lin, Liwei
Source: 2026 IEEE 39th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2026 IEEE 39th International Conference on. :1155-1158 Jan, 2026
Relation: 2026 IEEE 39th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
Database: IEEE Xplore Digital Library