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Fast In-Situ TDDB Prediction Method for HKMG Oxide Stacks

Title: Fast In-Situ TDDB Prediction Method for HKMG Oxide Stacks
Authors: Sharma, Uma; Knoll, Aaron; Samiee, Mehran; Subirats, Alexandre; Ulrich, Matthew; Bhoir, Mandar S.; Panda, Durga P.; Khanna, Abhishek; Srivastava, Shivani; Mocuta, Dan; Owens, Timothy J.
Source: 2026 IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS) Reliability Physics Symposium (IRPS), 2026 IEEE International. :1-5 Mar, 2026
Relation: 2026 IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS)
Database: IEEE Xplore Digital Library