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In-Doped Ga2O3 Solar-Blind Photodetectors Using Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

Title: In-Doped Ga2O3 Solar-Blind Photodetectors Using Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
Authors: Zhu, S.; Yang, Y.; Li, S.; Luo, Q.; Wu, H.; Lin, Q.; Liu, C.
Source: IEEE Transactions on Electron Devices IEEE Trans. Electron Devices Electron Devices, IEEE Transactions on. 73(7):4189-4198 Jul, 2026
Database: IEEE Xplore Digital Library