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Through-Glass Via and Substrate Recess Technologies: Enabling Embedded Devices and Co Packaged Optics in Advanced Glass Packaging

Title: Through-Glass Via and Substrate Recess Technologies: Enabling Embedded Devices and Co Packaged Optics in Advanced Glass Packaging
Authors: Anspach, Nils; Heinz, Jannis; Dunker, Daniel; Ambrosius, Norbert; Hirt, Simon; Ostholt, Roman
Source: 2026 IEEE 76th Electronic Components and Technology Conference (ECTC) ECTC Electronic Components and Technology Conference (ECTC), 2026 IEEE 76th. :2077-2082 May, 2026
Relation: 2026 IEEE 76th Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
Database: IEEE Xplore Digital Library