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High Density MIMCAPs in a 300mm Silicon Interposer using High-k Dielectric and 3D Oxide-studs for mm-Wave Applications

Title: High Density MIMCAPs in a 300mm Silicon Interposer using High-k Dielectric and 3D Oxide-studs for mm-Wave Applications
Authors: Comart, Ilker; Nolmans, Philip; Kang, Shuo; ElKashlan, Rana; Ramos, Alfredo Sanchez; Pauwels, Luc; Van Hoovels, Nele; Sinha, Siddhartha; Sun, Xiao; Miller, Andy; Beyne, Eric; Collaert, Nadine
Source: 2026 IEEE MTT-S Radio Frequency Technology and Techniques Symposium (IMS RFTT) MTT-S Radio Frequency Technology and Techniques Symposium (IMS RFTT), 2026 IEEE. :343-346 Jun, 2026
Relation: 2026 IEEE MTT-S Radio Frequency Technology and Techniques Symposium (IMS RFTT)
Database: IEEE Xplore Digital Library