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Uniaxial and Biaxial Strain for CMOS Performance Enhancement

Title: Uniaxial and Biaxial Strain for CMOS Performance Enhancement
Authors: Nguyen, B.-Y.; Zhang, D.; Thean, A.; Grudowski, P.; Vartanian, V.; White, T.; Zollner, S.; Theodore, D.; Goolsby, B.; Desjardins, H.; Prabhu, L.; Garcia, R.; Hackenberg, J.; Dhandapani, V.; Murphy, S.; Rai, R.; Conner, J.; Montgomery, P.; Parker, C.; Hildreth, J.; Noble, R.; Jahanbani, M.; Eades, D.; Cheek, J.; White, B.; Mogab, J.; Venkatesan, S.
Source: 2006 International SiGe Technology and Device Meeting SiGe Technology and Device Meeting, 2006. ISTDM 2006. Third International. :1-3 2006
Relation: 2006 International SiGe Technology and Device Meeting
Database: IEEE Xplore Digital Library