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NEMS based on top-down technologies: from stand-alone NEMS to VLSI NEMS & NEMS-CMOS integration

Title: NEMS based on top-down technologies: from stand-alone NEMS to VLSI NEMS & NEMS-CMOS integration
Authors: Ollier, E.; Andreucci, P.; Duraffourg, L.; Colinet, E.; Durand, C.; Casset, F.; Ernst, T.; Hentz, S.; Labarthe, S.; Marcoux, C.; Nguyen, V.; Renaud, D.; Mile, E.; Renaux, P.; Mercier, D.; Robert, P.; Ancey, P.; Bouchaillot, L.
Source: 2008 IEEE International Conference on Electron Devices and Solid-State Circuits Electron Devices and Solid-State Circuits, 2008. EDSSC 2008. IEEE International Conference on. :1-6 Dec, 2008
Relation: 2008 IEEE International Conference on Electron Devices and Solid-State Circuits (EDSSC)
Database: IEEE Xplore Digital Library