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Au-free CMOS-compatible AlGaN/GaN HEMT processing on 200 mm Si substrates

Title: Au-free CMOS-compatible AlGaN/GaN HEMT processing on 200 mm Si substrates
Authors: De Jaeger, B.; Van Hove, M.; Wellekens, D.; Kang, X.; Liang, H.; Mannaert, G.; Geens, K.; Decoutere, S.
Source: 2012 24th International Symposium on Power Semiconductor Devices and ICs Power Semiconductor Devices and ICs (ISPSD), 2012 24th International Symposium on. :49-52 Jun, 2012
Relation: 2012 24th International Symposium on Power Semiconductor Devices & IC's (ISPSD)
Database: IEEE Xplore Digital Library