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Melt depth and time variations during pulsed laser thermal annealing with one and more pulses

Title: Melt depth and time variations during pulsed laser thermal annealing with one and more pulses
Authors: Hackenberg, M.; Rommel, M.; Rumler, M.; Lorenz, J.; Pichler, P.; Huet, K.; Negru, R.; Fisicaro, G.; Magna, A. La; Taleb, N.; Quillec, M.
Source: 2013 Proceedings of the European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC) Solid-State Device Research Conference (ESSDERC), 2013 Proceedings of the European. :214-217 Sep, 2013
Relation: ESSDERC 2013 - 43rd European Solid State Device Research Conference
Database: IEEE Xplore Digital Library