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The effect of atomic layer deposition temperature on switching properties of HfOx resistive RAM devices

Title: The effect of atomic layer deposition temperature on switching properties of HfOx resistive RAM devices
Authors: Morgan, Katrina A.; Huang, Ruomeng; Pearce, Stuart; De Groot, C. H.
Source: 2014 IEEE International Symposium on Circuits and Systems (ISCAS) Circuits and Systems (ISCAS), 2014 IEEE International Symposium on. :432-435 Jun, 2014
Relation: 2014 IEEE International Symposium on Circuits and Systems (ISCAS)
Database: IEEE Xplore Digital Library