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Lateral Porous Silicon Interferometric Transducer for Sensing Applications

Title: Lateral Porous Silicon Interferometric Transducer for Sensing Applications
Authors: He, Yingning; De Vasconcellos, Douglas Silva; Bardinal, Veronique; Bourrier, David; Imbernon, Eric; Salvagnac, Ludovic; Laborde, Adrian; Dollat, Xavier; Leichle, Thierry
Source: 2018 IEEE SENSORS SENSORS, 2018 IEEE. :1-3 Oct, 2018
Relation: 2018 IEEE SENSORS
Database: IEEE Xplore Digital Library