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Femtosecond laser and reactive ion etching based treatments for nanoscale surface texturing of porous silicon carbide

Title: Femtosecond laser and reactive ion etching based treatments for nanoscale surface texturing of porous silicon carbide
Authors: Notargiacomo, A.; Laghi, L.; Rinaldi, A.; Moller, H.; Hansen, K. K.; Araneo, R.; Pea, M.; Di Gaspare, L.; De Seta, M.; Bellucci, A.; Girolami, M.; Orlando, S.; Trucchi, D. M.
Source: 2018 IEEE 18th International Conference on Nanotechnology (IEEE-NANO) Nanotechnology (IEEE-NANO), 2018 IEEE 18th International Conference on. :1-4 Jul, 2018
Relation: 2018 IEEE 18th International Conference on Nanotechnology (IEEE-NANO)
Database: IEEE Xplore Digital Library