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Die to wafer direct bonding: from fundamental mechanisms to optoelectronic and 3D applications

Title: Die to wafer direct bonding: from fundamental mechanisms to optoelectronic and 3D applications
Authors: Fournel, F.; Sanchez, L.; Montmayeul, B.; Castan, C.; Laugier, M.; Bally, L.; Larrey, V.; Mauguen, G.; Cheramy, S.; Jouve, A.; Rolland, E.; Morales, C.; Szelag, B.; Hassan, K.; Adelimini, L.; Rieutord, F.
Source: 2019 6th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D) Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D), 2019 6th International Workshop on. :16-16 May, 2019
Relation: 2019 6th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D)
Database: IEEE Xplore Digital Library