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A New Gas Flow Gyroscope MEMS For Harsh Environment Applications

Title: A New Gas Flow Gyroscope MEMS For Harsh Environment Applications
Authors: Marwan, Tedjini; Kechaf, Alexandre; Giani, Alain; Combette, Philippe; Kock, Guillaume; Gauthier-Blum, Caroline; Schneider, Markus
Source: 2019 Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS and MOEMS (DTIP) Design, Test, Integration & Packaging of MEMS and MOEMS (DTIP), 2019 Symposium on. :1-4 May, 2019
Relation: 2019 Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS and MOEMS (DTIP)
Database: IEEE Xplore Digital Library