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A Comprehensive Kinetical Modeling of Polymorphic Phase Distribution of Ferroelectric-Dielectrics and Interfacial Energy Effects on Negative Capacitance FETs

Title: A Comprehensive Kinetical Modeling of Polymorphic Phase Distribution of Ferroelectric-Dielectrics and Interfacial Energy Effects on Negative Capacitance FETs
Authors: Tang, Y.-T; Fan, C.-L.; Kao, Y.-C.; Modolo, N.; Su, C.-J.; Wu, T.-L.; Kao, K.-H.; Wu, P.-J.; Hsaio, S.-W.; Useinov, A.; Su, Pin; Wu, W.-F.; Huang, G.-W.; Shieh, J.-M.; Yeh, W.-K.; Wang, Y.-H.
Source: 2019 Symposium on VLSI Technology VLSI Technology, 2019 Symposium on. :T222-T223 Jun, 2019
Relation: 2019 Symposium on VLSI Technology
Database: IEEE Xplore Digital Library