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Industrial TCAD: Modeling Atoms to Chips

Title: Industrial TCAD: Modeling Atoms to Chips
Authors: Stettler, M.A.; Cea, S.M.; Hasan, S.; Jiang, L.; Keys, P.H.; Landon, C.D.; Marepalli, P.; Pantuso, D.; Weber, C.E.
Source: IEEE Transactions on Electron Devices IEEE Trans. Electron Devices Electron Devices, IEEE Transactions on. 68(11):5350-5357 Nov, 2021
Database: IEEE Xplore Digital Library