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Advanced contact technology for InGaAs NMOS and Ge PMOS devices

Title: Advanced contact technology for InGaAs NMOS and Ge PMOS devices
Authors: Eadi, Sunil Babu; Lee, Hi-Deok
Source: 2021 20th International Workshop on Junction Technology (IWJT) Junction Technology (IWJT), 2021 20th International Workshop on. :1-2 Jun, 2021
Relation: 2021 20th International Workshop on Junction Technology (IWJT)
Database: IEEE Xplore Digital Library