| Title: |
Improving Ge-rich GST ePCM reliability through BEOL engineering |
| Authors: |
Redaelli, A.; Gandolfo, A.; Samanni, G.; Gomiero, E.; Petroni, E.; Scotti, L.; Lippiello, A.; Mattavelli, P.; Jasse, J.; Codegoni, D.; Serafini, A.; Ranica, R.; Boccaccio, C.; Sandrini, J.; Berthelon, R.; Grenier, JC.; Weber, O.; Turgis, D.; Valery, A.; Del Medico, S.; Caubet, V.; Reynard, JP.; Dutartre, D.; Favennec, L.; Conte, A.; Disegni, F.; De Tomasi, M.; Ventre, A.; Baldo, M.; Ielmini, D.; Maurelli, A.; Ferreira, P.; Arnaud, F.; Piazza, F.; Cappelletti, P.; Annunziata, R.; Gonella, R. |
| Source: |
ESSDERC 2021 - IEEE 51st European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC) Solid-State Device Research Conference (ESSDERC), ESSDERC 2021 - IEEE 51st European. :231-234 Sep, 2021 |
| Relation: |
ESSDERC 2021 - IEEE 51st European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC) |
| Database: |
IEEE Xplore Digital Library |