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Fabrication of CMOS Compatible 2-terminal NEMS for Low Power Applications

Title: Fabrication of CMOS Compatible 2-terminal NEMS for Low Power Applications
Authors: Saha, Sumit; Baghini, Maryam Shojaei; Goel, Mayank; Rao, V. Ramgopal
Source: 2020 5th IEEE International Conference on Emerging Electronics (ICEE) Emerging Electronics (ICEE), 2020 5th IEEE International Conference on. :1-4 Nov, 2020
Relation: 2020 5th IEEE International Conference on Emerging Electronics (ICEE)
Database: IEEE Xplore Digital Library