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Swelling Analysis of Negative-tone Photosensitive Dielectric Materials for Fine Pitch Redistribution Layers

Title: Swelling Analysis of Negative-tone Photosensitive Dielectric Materials for Fine Pitch Redistribution Layers
Authors: Yukimori, Daiki; Inoue, Go; Ishikawa, Nobuhiro; Sekiguchi, Atsushi; Ogata, Toshiyuki
Source: 2022 IEEE 72nd Electronic Components and Technology Conference (ECTC) ECTC Electronic Components and Technology Conference (ECTC), 2022 IEEE 72nd. :1996-2001 May, 2022
Relation: 2022 IEEE 72nd Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
Database: IEEE Xplore Digital Library