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High performance 100 nm T-gate strained Si/Si/sub 0.6/Ge/sub 0.4/ n-MODFET

Title: High performance 100 nm T-gate strained Si/Si/sub 0.6/Ge/sub 0.4/ n-MODFET
Authors: Aniel, F.; Enciso-Aguilar, M.; Giguerre, L.; Crozat, P.; Adde, R.; Mack, T.; Seiler, U.; Hackbarth, Th.; Raynor, B.
Source: 2001 International Semiconductor Device Research Symposium. Symposium Proceedings (Cat. No.01EX497) Semiconductor device research Semiconductor Device Research Symposium, 2001 International. :482-485 2001
Relation: 2001 International Semiconductor Device Research Symposium. Symposium Proceedings
Database: IEEE Xplore Digital Library