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Co-implantation: A simple way to grow doped Si nanocrystals embedded in SiO2

Title: Co-implantation: A simple way to grow doped Si nanocrystals embedded in SiO2
Authors: Mathiot, DanielAff15; Khelifi, RimAff15; Muller, DominiqueAff15; Duguay, SébastienAff25
Source: MRS Online Proceedings Library. 1455(1):31-36
Database: Springer Nature Journals