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Ultra Shallow Junctions Optimization with Non Doping Species Co-implantation

Title: Ultra Shallow Junctions Optimization with Non Doping Species Co-implantation
Authors: Cagnat, NathalieAff1; Laviron, CyrilleAff2; Mathiot, DanielAff3; Duriez, BlandineAff4; Singer, JulienAff4; Gwoziecki, RomainAff2; Salvetti, FrédéricAff4; Dumont, BenjaminAff5; Pouydebasque, ArnaudAff4
Source: MRS Online Proceedings Library. 912(1)
Database: Springer Nature Journals
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