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1
von Mohamed Boutghatin ; Salim Assaf ; Pascal Tilmant ; et al.
ACS Omega, Vol 10, Iss 36, Pp 40922-40929 (2025)
Schlagworte: Chemistry; QD1-999
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von Xu, Hao ; Venkatachalam, Srisaran ; Boyaval, Christophe ; et al.
In Microelectronic Engineering 15 August 2023 280
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3
von Boutghatin, Mohamed ; Assaf, Salim ; Tilmant, Pascal ; et al.
ACS Omega. 9/16/2025, Vol. 10 Issue 36, p40922-40929. 8p.
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5
von Morelle, Christophe ; Théron, Didier ; Derluyn, Joff ; et al.
Microsystem Technologies: Micro- and Nanosystems Information Storage and Processing Systems. :1-7
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6
von Herth, Etienne ; Tilmant, Pascal ; Faucher, Marc ; et al.
In Microelectronic Engineering 2010 87(11):2057-2060
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7
von Ulliac, Gwenn ; Garidel, Sophie ; Vilcot, Jean-Pierre ; et al.
In Microelectronic Engineering 2005 81(1):53-58
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8
von Garidel, Sophie ; Vilcot, Jean-Pierre ; Zaknoune, Mohammed ; et al.
In Microelectronic Engineering 2004 71(3):358-362
- 9
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10
von Vaillard, Anne-Sophie ; Deblock, Yves ; Tilmant, Pascal ; et al.
Schlagworte: Nanostructured glass; EBL; E-beam lithography; PEDOT:PSS; Graphene; HSQ resist
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11
von Deblock, Yves ; Tilmant, Pascal ; Vaillard, Anne-Sophie ; et al.
Schlagworte: resist formulation; 32%-HSQ; EM Resist; Electron beam lithography
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15
von Deblock, Yves ; Tilmant, Pascal ; Vaillard, Anne-Sophie ; et al.
Schlagworte: HSQ; Lithographie électronique; cellule hermétique; verre nanostructurée; vapeur de Césium
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16
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17
von Morelle, C. ; Théron, D. ; Roch-Jeune, I. ; et al.
ISSN: 0003-6951.
Schlagworte: Electronic transport; Tensile stress; MEMS technology; Measuring instruments; Semiconductors; Structural beam vibrations; Elastic modulus; Heterostructures; Proof mass; Acceleration measurement; [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
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19
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20
von Vaillard, Anne-Sophie ; Deblock, Yves ; Tilmant, Pascal ; et al.
Journées Renatech 2025 Litho & Gravure ; https://hal.science/hal-05316242 ; Journées Renatech 2025 Litho & Gravure, Renateck network, Jun 2025, Palaiseau, France ; https://renatech-lg2025.sciencesconf.org/
Schlagworte: Nanostructured glass; EBL; E-beam lithography; PEDOT:PSS; Graphene; HSQ resist; [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
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21
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22
von Deblock, Yves ; Boyaval, Christophe ; Elegbe, J. ; et al.
Rencontres 2023 Renatech Litho. Gravure ; https://hal.science/hal-03994064 ; Rencontres 2023 Renatech Litho. Gravure, Jan 2023, Villeneuve d'Ascq, France
Schlagworte: [PHYS]Physics [physics]; [SPI]Engineering Sciences [physics]
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23
von Deblock, Yves ; Boyaval, Christophe ; Elegbe, J. ; et al.
Rencontres 2023 Renatech Litho. Gravure ; https://hal.science/hal-03994057 ; Rencontres 2023 Renatech Litho. Gravure, Jan 2023, Villeneuve d'Ascq, France
Schlagworte: [PHYS]Physics [physics]; [SPI]Engineering Sciences [physics]
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24
von Zhou, Xin ; Theron, D. ; Xu, H. ; et al.
Frontiers of Nanomechanical Systems ; https://hal.science/hal-04234474 ; Frontiers of Nanomechanical Systems, Jun 2023, Delft, Netherlands
Schlagworte: Scanning microwave microscopy; membrane; nanomechanical vibration; [SPI]Engineering Sciences [physics]
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25
von Eustache, Etienne ; Tilmant, Pascal ; Morgenroth, Laurence ; et al.
Advanced Energy Materials. Jun2014, Vol. 4 Issue 8, pn/a-N.PAG. 11p.
Schlagworte: *SILICON; *LITHIUM-ion batteries; *MICROELECTRONICS; *TITANIUM dioxide
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