Materials science of thin films
| Titel: | Materials science of thin films : deposition and structure / Milton Ohring |
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| Verfasser: | |
| Ausgabe: | 2. ed. |
| Veröffentlicht: | San Diego, Calif. : Academic Press, 2002 |
| Umfang: | XXI, 794 S. : Ill. |
| Format: | E-Book |
| Sprache: | Englisch |
| RVK-Notation: |
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Vorliegende Ausgabe: | Online-Ausg.: 2003. - Online-Ressource. |
| ISBN: | 0585470979 (Sekundärausgabe) ; 9780585470979 (Sekundärausgabe) |
| Hinweise zum Inhalt: |
Inhaltsbeschreibung der Sammlung und Zugangshinweise
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| Bemerkung: | A review of materials science. - Vacuum science and technology. - Thin-film evaporation processes. - Discharges, plasmas, and ion-surface interactions. - Plasma and ion beam processing of thin films. - Chamical vapor deposition. - Substrate surfaces and thin-film nucleation. - Epitaxy. - Film structure. - Characterixation of thin films and surfaces. - Interdiffusion, reactions, and transformations in thin films. - Mechanical properties of thin films |
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